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行业标准

QSY,DSY透明石英玻璃仪器国家标准介绍

标准名称   :QSY,DSY透明石英玻璃仪器

标准类型   :中华人民共和国国家标准

标准号   :JC 181-81

标准发布单位:国家标准局 发布

标准正文  :正文

本标准主要用于半导体工业采用的透明石英玻璃仪器。其他冶金、化工、科学研究等所用透明石英玻璃仪器之技术要求均可参考本标准执行。

透明石英玻璃仪器有QSY透明石英玻璃仪器和DSY透明石英玻璃仪器两种。

一、技术要求

1.透明石英玻璃仪器的化学成分,热稳定性,抗结晶性和高温变色性,均不低于同类管材的要求。

2.透明石英玻璃仪器在加工过程中,应尽量消除应力,必须保证在常温下逐步升温至1100℃,在炉内自然冷却后无炸裂。

3.两种透明石英玻璃仪器均按加工部位的外观指标分为二级(见下表)。

项 目 一 级 二级

色 加工过程中混入(毫米) 0.1- 0.3 0.3- 1.0

斑 允许数量(个/100厘米[2]) ≤2 ≤2

外 管接口应做到轴向平行径向垂直加工 1/2管材壁厚 管材壁厚

表面凸凹不大于所用管材壁厚

型 长度未注明非重要部位的自由公差(毫米) ±3 ±3

锥度(比例) 1∶5、1∶10、1∶15 1∶5、1∶10、1∶15

磨口与未加工亮面呈直径圆周,弯曲度(毫米) ±1 ±2

磨 磨口内亮面(毫米[2]) 不允许 8 {HotTag}

口 允许数量(个/100厘米[2]) 不允许 ≤1

配 塞口的高低公差(毫米) ±3 ±3

合 二通活塞对孔误差 ≤1/4 ≤1/3

多通活塞对孔误差 ≤1/2 ≤3/5

水 面积(毫米[2]) ≤10 11- 50

迹 允许数量(个/100厘米[2]) ≤2 ≤2

云 在加工复杂器件的过程中不易避免的部位 不允许 不允许

雾 (半透明云雾)

焊 焊接之弯曲处熔合圆滑 必须完全熔合 必须熔合

折料和料疙瘩处厚度 在壁厚公差范围内 在壁厚公差范围内

接 炸裂纹 不允许 不允许

析晶和指纹印 不允许 不允许

注:

①密封性检验方法:将水盛入磨口仪器中,在不涂油脂的情况下,将塞塞紧,倒翻10次,每次在10秒内,用滤纸擦试无渗出水液为封口性能合格。

②QSY透明石英玻璃仪器的非主体部分,在不影响性能的情况下,可用外径D19

毫米以下的DTS1透明石英玻璃管(棒)。

4.透明石英玻璃仪器,非加工部位(允许加工后达到要求)的技术要求如下。

(1)QSY透明石英玻璃仪器:

仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品;

仪器的二级品外观指标不低于租应管材的三级品。

(2)DSY透明石英玻玛仪器:

仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品;

仪器的二级品外观指标不低于相应管材的四级品。

发布时间:2012-08-14 13:21:34
 
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