规格 测量范围（㎜） 外形尺寸（㎜） 测量精度 最大载重（ Kg ） 整机重量（ Kg ）
X Y Z X Y Z 空间示值误差
MPE E （ μm ） 探测误差
MPE P （ μm ）
CMF575 500 700 500 1150 1320 2570 2.8+L / 250 3.2 500 1500 CMF8107 800 1000 700 1450 1900 3000 3.2 +L/250 3.5 1000 2400
CMF8157 1500 2400 1200 3000
CMF10128 1000 1200 800 1650 2100 3250 3.5 ﹢ L / 250 3.8 1200 2900
CMF10158 1500 2400 1350 3300
CMF10208 2000 2900 1500 4200
CMF12158 1200 1500 800 1850 2400 3250 4.2 ﹢ L / 250 4.5 1400 3800
CMF12208 2000 2900 1600 4500
CMF101510 1000 1500 1000 1650 2400 3700 4.2 ﹢ L / 250 4.5 1350 3500
CMF102010 2000 2900 1500 4300
注：L ：单位为 mm(毫米) E ：单位为 μm(微米)