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1.
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無塵室範圍： |
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2.
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儀器使用人員規範： |
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2.1 |
儀器使用人員分為四級： |
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(1) 超級使用者(superuser)
(2) 合格使用者(user)
(3) 學生(student)
(4) 特約儀器廠商或計畫合作單位 |
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2.2 |
只有超級使用者與合格使用者可自由使用無塵室內之儀器、設備及耗材。儀器、設備及耗材之使用僅限於無塵室負責教授所認可之相關計劃或課程，不得使用於未經核可之不相關計劃及製程。無塵室內儀器、設備及耗材除無塵室負責教授所認可之外不得隨意攜出無塵室外以為他用。 |
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2.3 |
合格使用者之認定只能由超級使用者負責考核。 |
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2.4 |
學生欲使用儀器時必須有合格使用者以上等級人員全程陪同。 |
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2.5 |
各儀器之合格使用者名單至於各儀器旁。 |
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2.6 |
外來之儀器維修及裝配人員進入無塵室前必須報備化學區管理人員取得臨時進入許可。 |
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2.7 |
非化學區核可進入之人員如欲進入參觀化學區，請向化學區負責教授報備核可後進入參觀，不得隨意自行攜入參觀。 |
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2.8 |
修習實驗課之學生進出無塵室均應由實驗課助教帶領，不得私自進入。 |
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3.
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無塵室儀器使用規範： |
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3.1 |
操作無塵室內儀器時，請務必依照操作程序使用儀器，除非經負責儀器之超級使用者共同同意，不得私自更改操作程序，違者暫停使用該儀器。 |
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3.2
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使用無塵室之儀器需登記使用時間及儀器狀況，若有問題請尋求各儀器之超級使用者協助解決。 |
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4.
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無塵室使用守則： |
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4.1 |
確定瞭解實驗室內眼睛沖洗器、滅火器、葡萄酸鈣及沖洗站的放置地點，並熟悉逃生路線的位置與意外事故處理程序。 |
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4.2 |
如果發生緊急狀況，請立刻打119或校內緊急分機50000，通知無塵室管理人員和緊急醫療機構。 |
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4.3 |
隨時保持整潔，勿將垃圾留給別人，棉花棒、廢棄物勿隨手丟，應置入垃圾桶內。 |
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4.4 |
非必要勿停留在無塵室內，勿在無塵室內踏步來回走動或躺臥休息。 |
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4.5 |
禁止在乘坐無塵室內的椅子時，滑動椅子滾輪到另一處，以免傷害靜電地板。 |
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4.6 |
不論何時，至少要有兩位使用者在無塵室內，若你可能落單請攜伴同行。 |
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4.7 |
在無塵室內，不得飲食、嬉鬧或從事其它與實驗無關的事情。 |
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4.8 |
勿在處理化學藥品或有危險的過程及程序時交談。 |
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4.9 |
私人物品(手提袋，書籍等)須留置於置物櫃，不得亂丟。 |
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4.10 |
永遠專注在特殊的工作上。並且，對你周遭的環境也要保持警覺，尤其是各種潛在的危險狀況。 |
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4.11 |
無塵室內勿穿著無袖背心、短褲、短裙、高跟鞋或涼鞋，穿著長褲之長度須能遮蓋住皮膚，且須著襪。 |
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4.12 |
進入無塵室前應先脫鞋放入門外之鞋櫃內，再進入無塵室穿戴無塵衣、帽、鞋及口罩，帽子須將頭髮全部包住，無塵衣不得穿出無塵室外。 |
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4.13 |
實驗過程中務必穿著實驗衣，無論是否戴眼鏡，最好配戴護目鏡。 |
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4.14 |
無塵室中請勿戴隱形眼鏡，亦不可化妝。 |
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4.15 |
請勿攜帶個人物品進入無塵室，必要之無塵紙、原子筆、Mask 、Wafer 及其 他工具(鑷子、夾子)等除外。 |
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4.16 |
一般塑膠袋不可攜入無塵室，若裝有物品，應於更衣室即把塑膠袋丟掉或放在顯示聯合實驗室專用櫃收藏。 |
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4.17 |
所使用之器皿如有損壞或藥品潑出須立即報備無塵室負責人員以即時處理。 |
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4.18 |
非無塵室所提供或認可之化學藥品、元件、製程，不得進入本實驗室。 |
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4.19 |
儀器、設備攜入無塵室前，請先於更衣間用IPA 擦拭乾淨。 |
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4.20 |
勿將氮氣直接吹向人員，以免造成缺氧窒息。 |
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4.21 |
在無塵室內不得使用任何會產生顆粒之物品(鉛筆等)。 |
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4.22 |
手機禁止攜入無塵室內，請放置於更衣間。 |
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4.23 |
無塵室內電話或電腦僅供實驗相關之事宜聯絡或資料紀錄及傳輸使用，請勿以私人事務佔據使用。 |
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4.24 |
無塵室內之設備，請勿自行更動設定。若欲改變設定，請通知各機台管理人。 |
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4.25 |
學生不得穿越化學區和無塵室之通道及其他貼有禁止通行標語的區域。 |
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4.26 |
各實驗室之物品，請存放各實驗室位於迴風區之鐵櫃。 |
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5.
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無塵室化學藥品操作安全規定： |
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5.1 |
若工作過程中使用到酸、有毒或致命的溶劑或其他有危險的化學藥品，請永遠使用有抽氣的化學清洗槽，且穿戴安全的裝備。 |
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5.2 |
使用完畢之藥品、燒杯、晶片，務必物歸原位，並做適當清洗處理，clean hood 及周遭環境均須清理乾淨。 |
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5.3 |
絕對不要把任何沒有貼上危險物質辨識標籤且尚未用水沖洗的瓶罐或容器放在一起；絕對不要把任何尚未用水沖洗的瓶罐或容器和標示著“已沖洗”的容器放在一起。當任何化學廢棄物瓶罐或容器是空的，立刻開始清洗處理程序。 |
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5.4 |
化學藥品用畢後請用DI water清洗空瓶3 次，並在空瓶外側標明“已沖洗”。 |
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5.5 |
使用含有氫氟酸(HF)之酸性溶液時切忌使用玻璃燒杯和金屬鑷子，以免腐蝕，應使用鐵氟龍燒杯及鑷子。 |
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5.6 |
使用過之濾紙、手套等耗材應按照分類丟棄，保持環境清潔。 |
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5.7 |
當一般使用之化學藥品只剩原本容量之三分之ㄧ時，請通知化學區管理人員。 |
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6.
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化學藥品使用安全守則： |
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6.1 |
配製酸鹼溶液時，應該酸鹼滴入水中，若有H2O2 則最後倒入。 |
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6.2 |
有機溶劑與無機酸類不得混用，以免發生危險。 |
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6.3 |
膚不小心沾到一般酸鹼類時，應立即用大量清水沖洗。若被含有HF 之溶液沾到時須先用大量清水沖洗，再使用葡萄酸鈣塗佈傷處15 分鐘，然後使用清水沖洗乾淨，並送醫處理。 |
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6.4 |
如果含有HF 之溶液潑出，可用石灰中和。 |
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6.5 |
有機溶劑使用時應用玻璃燒杯。 |
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6.6 |
實驗作業中，絕不可無人照料，必須離開時，應請人代為照料，或清楚標示該化學藥品名稱、使用時間、使用者及緊急聯絡方式。 |
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6.7 |
使用化學藥品時，請使用已標示該化學藥品之容器，以避免交叉汙染。 |
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6.8 |
化學藥品使用完畢必須立即處理，不可儲存於hood 中，需長時間使用之化學藥品，以置放於hood 中一天為原則並須加註清楚標示(特殊情況於報備負責教授同意後不在此限)。 |
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7.
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有機溶劑注意事項： |
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7.1 |
有機溶劑皆具毒性，勿輕易吸入，亦勿觸及皮膚。有機溶劑由皮膚滲入血液中，會對肝臟造成傷害。 |
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7.2 |
有機溶劑之容器，不論使否在使用中，都應隨手關緊。 |
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7.3 |
吸入有機溶劑會使人產生頭痛、疲倦感、目眩、貧血及肝臟傷害等不良影響。 |
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7.4 |
在使用有機溶劑前,應具備熟知該物質之安全特性，並事先詳讀安全資料表(MSDS)。 |
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7.5 |
有機溶劑操作區，嚴禁使用會產生煙、火之設備或裝置。 |
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8.
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廢液處理守則： |
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8.1 |
實驗室廢液分類，請參見附表一，請倒入合適分類之廢液桶中。 |
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8.2 |
只有下列常用之酸性液體可經由充分稀釋後倒入水槽：醋酸、硫酸、磷酸、硝酸及鹽酸。其他化學藥品嚴禁隨意傾倒。 |
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8.3 |
酸鹼類或有機溶劑使用完畢後，如不再使用，請倒入合適分類之廢液桶中。 |
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8.4 |
加熱過之化學藥品須待其冷卻後再倒入合適之廢液桶中。 |
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8.5 |
廢液桶滿了應放置廢液儲存區，以免氣味瀰漫化學區。 |
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9.
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實驗室相關資訊： |
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9.1 |
實驗室負責人: 高珮宜 電話：03-5712121#59323 |
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9.2 |
實驗室負責教授：冉曉雯 助理教授 電話：03-5712121#59323 |
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9.3 |
緊急連絡分機：50000 (警衛室光復前門) |
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10.
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參考來源 : |
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(1) 國立台灣大學奈米機電系統研究中心
(2) 國立清華大學工科系微系統製程實驗室使用規則
(3) 國立清華大學微機電所
(4) 國立交通大學奈米中心
(5) 國立成功大學實驗廢棄物管理暫行辦法 |